一种VCM马达弹片曝光时赶气吸真空装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种VCM马达弹片曝光时赶气吸真空装置。本实用新型包括透明玻璃工作台和X轴导轨，透明玻璃工作台为长方体结构，透明玻璃工作台具有一定的厚度；透明玻璃工作台的表明上具有曝光区域，透明玻璃工作台的左右侧面上分别是左侧Y轴导轨和右侧Y轴导轨，X轴导轨的左右两端底部分别在左侧Y轴导轨和右侧Y轴导轨上，X轴导轨的上部水平。
基本信息
专利标题 ：
一种VCM马达弹片曝光时赶气吸真空装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021646909.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
CN212569420U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
王林简群飞姜文超王晓东
申请人 ：
大连保税区金宝至电子有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市保税区鑫汇南路1-1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021646909.1
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H02K41/035
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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