一种曝光机自动赶气装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种曝光机自动赶气装置，包括曝光机底座、连接抽真空组件、抽真空工作台和往复式自动赶气组件，所述连接抽真空组件设于曝光机底座上，所述往复式自动赶气组件设于连接抽真空组件上，所述曝光机底座和往复式自动赶气组件之间设有工作区间，所述抽真空工作台设于曝光机底座上，所述往复式自动赶气组件包括往复式驱动组件、贴合式赶气杆、自动赶气轮、赶气驱动组件腔和往复式赶气滑轨，所述往复式驱动组件包括驱动转盘、驱动电机、横向驱动板、滑动块和连接块。本实用新型属于曝光机技术领域，具体是提供了一种可进行往复运动排气并通过角度的可调节性及弹力贴合设置可增强排气贴合度进而增强赶气效果的曝光机自动赶气装置。
基本信息
专利标题 ：
一种曝光机自动赶气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021004569.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-04
授权号 ：
CN211786591U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
谭巨华田书鼎
申请人 ：
东莞市钜升金属科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市寮步镇泉塘曲岭二路19号
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
屠佳婕
优先权 ：
CN202021004569.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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