具备节能模块的VCM弹片曝光机
授权
摘要

本实用新型揭示了具备节能模块的VCM弹片曝光机,包括曝光舱,曝光舱内设有支撑体,曝光舱内设有顶部曝光机构和底部曝光机构,顶部曝光机构和底部曝光机构分别包括滑轨体、滑动设置于滑轨体上的灯珠曝光源,任意灯珠曝光源上设有位移驱动源,灯珠曝光源线性位移方向与VCM弹片所在面相平行,灯珠曝光源为垂直直射。本实用新型采用灯珠式曝光灯管作为曝光源,具备发热量小、能耗低及使用寿命长等特点,且为直射式曝光,无需设置抽风结构及反光结构,降低了曝光机设备成本。通过对灯珠式曝光灯管的线性位移控制并结合直射原理,满足曝光均匀度需求,且线性位移控制结构易于实现。丝杆传动的方式满足灯珠曝光源的行程需求,降低了对曝光舱的空间需求。

基本信息
专利标题 :
具备节能模块的VCM弹片曝光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920942975.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-21
授权号 :
CN210466006U
授权日 :
2020-05-05
发明人 :
周武吴辉旺
申请人 :
昆山弗莱吉电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省昆山市玉山镇锦淞路399号
代理机构 :
北京国坤专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王峰刚
优先权 :
CN201920942975.4
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-05-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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