本实用新型公开了一种半导体超纯水循环再利用设备,其包括:制超纯水装置，其包括沿制超纯水的水路方向依次连通的原水桶、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器、一级增压泵、第一级滤芯、第二级滤芯、第三级滤芯、一级纯水桶、二级增压泵、第四级滤芯、第五级滤芯、二级纯水桶和EDI设备；第四级滤芯和第五级滤芯的废水出口回流至原水桶；废水回收装置，石英砂过滤器和活性炭过滤器的污水排出口与第一级滤芯、第二级滤芯、第三级滤芯的废水出口流出的废水均回流至废水回收装置，废水回收装置里的废水通过增压水泵供应至去毛刺机。本实用新型可以作为净水机使用，制备超纯水，同时还可以将产生的废水进行回收并用于去毛刺机上。