本实用新型公开了一种透射电镜高分辨原位液相变温芯片。所述芯片的下片有支撑层、冷冻层、绝缘层、加热层、绝缘层、孔道和中心视窗；冷冻层有四个接触电极、半导体制冷薄膜及导电金属薄膜；在中心视窗及半导体制冷薄膜所在区域，硅腐蚀掉后留下孔道，支撑层覆盖在孔道上方；半导体制冷薄膜及导电金属薄膜均置于支撑层上；以中心视窗为中心，在支撑层上沉积一圈金属薄膜；半导体制冷薄膜的前端搭在金属薄膜上，后端与四个接触电极相连；冷冻层与加热层通过绝缘层隔开；加热层有两个接触电极及螺旋环形加热丝，加热丝位于半导体制冷薄膜的上方；中心视窗上有多个小孔。所述芯片具有控温范围大，变温速率快，可实现原位动态观测的优点。