一种透射电镜高分辨原位悬空式温差加压芯片
授权
摘要

本实用新型涉及一种透射电镜高分辨原位悬空式温差加压芯片,包括双面覆盖有绝缘层的基片,该基片的中部具有一中心视窗,该中心视窗悬空设置,且该中心视窗上还覆盖有一支撑层;该中心视窗内的支撑层上具有呈左右对称设置的两加热丝以及呈上下对称设置的两加压电路,且两加压电路位于两加热丝之间的间隙中;每一加热丝均连接有四个加热电极,每一加热电极通过一加热线路连接于加热丝的不同位置上;每一加压电路连接有一加压电极,每一加压电极通过一加压线路与对应的加压电路连接,该芯片能够同时实现温差及加压功能。

基本信息
专利标题 :
一种透射电镜高分辨原位悬空式温差加压芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022337061.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-20
授权号 :
CN213544440U
授权日 :
2021-06-25
发明人 :
廖洪钢何娜娜江友红
申请人 :
厦门大学
申请人地址 :
福建省厦门市思明南路422号
代理机构 :
厦门市精诚新创知识产权代理有限公司
代理人 :
黄斌
优先权 :
CN202022337061.0
主分类号 :
G01N23/02
IPC分类号 :
G01N23/02  G01N23/20033  H01J37/20  H01J37/26  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料,例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/02
通过使辐射透过材料
法律状态
2021-06-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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