一种透射电镜高分辨原位温差芯片
授权
摘要

本实用新型涉及一种透射电镜高分辨原位温差芯片,包括双面覆盖有绝缘层的基片,该基片的正面上设置有加热层,所述加热层包括两对称设置的加热单元,每一加热单元都包括由加热丝构成的加热区、两接触电极以及连接加热丝和接触电极的连接线路,其中,加热丝布设形成大致方形的加热区,两个接触电极位于基片的同侧边缘;两加热单元的加热区之间具有用来搭载样品的缝隙;所述基片除加热单元外的区域被腐蚀镂空,从而形成用于支撑加热区的第一支撑区域和用于支撑连接线路的第二支撑区域,该芯片具有快速升降温、精准测温控温、持续维持精准温差、分辨率高、样品漂移率低的优点。

基本信息
专利标题 :
一种透射电镜高分辨原位温差芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021804908.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-26
授权号 :
CN212277151U
授权日 :
2021-01-01
发明人 :
廖洪钢江友红
申请人 :
厦门超新芯科技有限公司
申请人地址 :
福建省厦门市火炬高新区软件园创新大厦A区801
代理机构 :
厦门市精诚新创知识产权代理有限公司
代理人 :
黄斌
优先权 :
CN202021804908.5
主分类号 :
H01J37/20
IPC分类号 :
H01J37/20  H01J9/00  H05B3/06  H05B3/20  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置;与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2021-01-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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