一种PBN坩埚镀膜机
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型揭示了一种PBN坩埚镀膜机,包括机箱、升降机构以及送风机构,所述升降机构固定设置在机箱内侧壁,所述送风机构固定设置在机箱顶部,所述机箱的内底部设有加热保温箱,所述加热保温箱内壁设有石英锅。为解决了现有技术处理PBN坩埚存在能耗大和坩埚寿命短的技术问题,现提出一种新的技术路线处理PBN坩埚:首先将PBN坩埚浸润高纯硼酸溶液,然后对充分浸润高纯硼酸溶液的PBN坩埚做烘干处理。基于处理PBN坩埚的新技术路线,本实用新型正是为解决将PBN坩埚浸润高纯硼酸溶液而提出的一种新的技术方案。

基本信息
专利标题 :
一种PBN坩埚镀膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021717362.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-17
授权号 :
CN213670177U
授权日 :
2021-07-13
发明人 :
齐正阳李房斌周铁军白平平
申请人 :
广东先导先进材料股份有限公司
申请人地址 :
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021717362.X
主分类号 :
B05C3/09
IPC分类号 :
B05C3/09  B05C11/10  B05C13/02  C30B23/00  C30B28/14  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C3/00
使工件与大量液体或其他流体在其内部相接触的容器
B05C3/02
把工件浸入液体或其他流体中
B05C3/09
处理单独的物品
法律状态
2022-01-07 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B05C 3/09
登记生效日 : 20211228
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 广东先导先进材料股份有限公司
变更后权利人 : 广东先导微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
变更后权利人 : 511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
2021-07-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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