薄膜穿孔缺陷检测装置

授权

摘要

本实用新型属于薄膜材料测试技术领域，具体地涉及一种薄膜穿孔缺陷检测装置。所述的薄膜穿孔缺陷检测装置，包括支撑框架，在所述支撑框架上部设有真空吸板，所述真空吸板内设有中空的吸附腔，真空吸板的上表面设置若干个与吸附腔相通的吸附孔，所述吸附腔的下部与真空装置连接，在所述真空吸板的上方设置检测装置。本实用新型提供的聚合物薄膜缺陷检测装置不但可以对聚合物薄膜中的机械损伤、穿透缺陷(例如针孔)具有优异的检测精度，还能够实时地检测出聚合物薄膜或基片材料中缺陷的位置信息，对聚合物薄膜中的穿透缺陷(例如针孔)具有优异的检测精度，可以对几十微米的针孔进行检测，设备结构简单、成本低、可靠性好。

基本信息

专利标题：

薄膜穿孔缺陷检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021733703.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-18

授权号：

CN213022149U

授权日：

2021-04-20

发明人：

张振王丽赵宽张江山张永明

申请人：

山东东岳高分子材料有限公司

申请人地址：

山东省淄博市桓台县唐山镇

代理机构：

青岛发思特专利商标代理有限公司

代理人：

耿霞

优先权：

CN202021733703.2

主分类号：

G01M3/04

IPC分类号：

G01M3/04 G01N25/00