一种带分气环的单晶炉炉盖
授权
摘要
本申请涉及单晶生产设备的领域，尤其是涉及一种带分气环的单晶炉炉盖，其包括炉盖以及竖直设置在炉盖上方的喉口管道，所述喉口管道与所述炉盖内侧连通，所述喉口管道上端设置有往主炉室内通入氩气的分气环组件，所述分气环组件上设置有总进气管，所述总进气管一端与所述分气环组件连通，所述总进气管另外一端与氩气源连接，所述分气环组件上开设有与炉体内连通的总进气口。本申请具有解决氩气充入到炉体内时，产生的涡流以及直接将氩气充入到炉体内导致气流在炉体内分布的不均匀的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种带分气环的单晶炉炉盖
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021739311.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-19
授权号 ：
CN213061100U
授权日 ：
2021-04-27
发明人 ：
常晓鱼
申请人 ：
北京北方华创真空技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
侯巍巍
优先权 ：
CN202021739311.7
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2021-04-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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