一种等离子刻蚀机气体分配加热器

授权

摘要

本实用新型涉及等离子刻蚀机设备技术领域，具体涉及一种等离子刻蚀机气体分配加热器，包括分配底盘和分配顶盘，分配底盘的内腔底部均匀开设有气流分配出孔，分配底盘的内腔内设有加热组件，分配底盘的顶部设有分配顶盘，分配顶盘的顶部均匀开设有气流分配进孔，本实用新型提供了一种等离子刻蚀机气体分配加热器，通过一系列结构的设计和使用，解决了等离子刻蚀机气体分配加热器在进行使用过程中虽然达到对工艺气体进行加热的目的，但存在结构复杂、加热不均匀和气流分配均匀性较差的问题。

基本信息

专利标题：

一种等离子刻蚀机气体分配加热器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021739968.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-19

授权号：

CN212750802U

授权日：

2021-03-19

发明人：

朱慧刘超蒋青成任凯强范海玲

申请人：

无锡展硕科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市梁溪区市会北路26-18

代理机构：

无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

杨立秋

优先权：

CN202021739968.3

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32