一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，包括框架(1)、设在框架(1)上的清洗仓(2)、仓盖(3)、设在清洗仓(2)下方的储液箱(6)、水泵(7)、设在仓盖(3)上的调压阀(4)，所述调压阀(4)通过管道与水泵(7)的出口连接，所述水泵(7)的进口通过管道与储液箱(6)相连，所述仓盖(3)通过固定装置(8)与清洗仓(2)连接，所述清洗仓(2)内设有用于安装气体分配器的装夹工装(5)，所述清洗仓(2)的下方设有储液箱(6)。本实用新型结构简单实用，清洗效果好，清洗效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122771551.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-12
授权号 ：
CN216323689U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
施靖游利管明月夏荣荣
申请人 ：
靖江先锋半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市靖江市经济开发区新港大道195号
代理机构 ：
南京志同舟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
隋华芹
优先权 ：
CN202122771551.6
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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