一种多晶硅还原炉视镜保护气重分布装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多晶硅还原炉视镜保护气重分布装置,还原炉炉筒冷却水出口、视镜、还原炉炉筒外壳、还原炉炉筒内壳、还原炉炉筒冷却水进口、还原炉炉筒底部法兰，在视镜管的视镜保护气进气口处安装视镜保护气重分布装置。可有效保护多晶硅还原炉视镜在多晶硅沉积过程中期和后期不粘附少量硅粉，解决了多晶硅还原炉沉积过程中期和后期因视镜粘附少量硅粉导致硅棒表面温度测不准的问题，有利于在多晶硅沉积中期和后期控制多晶硅棒表面温度，提高致密料比例。
基本信息
专利标题 ：
一种多晶硅还原炉视镜保护气重分布装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021765121.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-21
授权号 ：
CN214087740U
授权日 ：
2021-08-31
发明人 ：
陈其国刘丹阳满慈皊陈姝杨东风高兴
申请人 ：
江苏中能硅业科技发展有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市经济技术开发区协鑫大道66号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021765121.2
主分类号 ：
C01B33/035
IPC分类号 ：
C01B33/035
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
硅
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/035
在存在硅、碳或耐熔金属的热丝情况下，或在存在热硅棒情况下，用气态或汽化的硅化合物的分解或还原
法律状态
2021-08-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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