一种多晶硅还原炉视镜装置
授权
摘要
本申请公开了一种多晶硅还原炉视镜装置，属于多晶硅技术领域，包括还原炉本体、喷嘴以及透镜。透镜安装在还原炉本体上，还原炉本体上设置有氢气通道，氢气通道设置在透镜的附近，氢气可以通过该氢气通道被送入到还原炉本体内。氢气沿氢气通道进入还原炉本体时，能够改变还原炉本体内透镜附近的流场，可以防止还原炉本体内产生的气体和硅粉通过返混到达透镜玻璃的表面，从而保证还原炉本体在运行过程中透镜表面的洁净，进而保证硅棒表面温度测量的准确性，以更好的控制多晶硅生产条件。
基本信息
专利标题 ：
一种多晶硅还原炉视镜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123200805.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
CN216512893U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
杨明财宗冰丁小海王生红任长春
申请人 ：
亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海亚洲硅业半导体有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
申请人地址 ：
青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
代理机构 ：
北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
孔鹏
优先权 ：
CN202123200805.5
主分类号 ：
C01B33/035
IPC分类号 ：
C01B33/035
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
硅
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/035
在存在硅、碳或耐熔金属的热丝情况下，或在存在热硅棒情况下，用气态或汽化的硅化合物的分解或还原
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
