涂敷装置
授权
摘要
本实用新型提供一种涂敷装置。提供一种能够针对涂敷装置简化装置结构的技术。本公开的涂敷装置具备涂敷处理部、输送部以及层叠起来的3个以上的处理模块。涂敷处理部配置于3个以上的处理模块中的至少1个处理模块，用于向基板涂敷成膜材料。输送部在3个以上的处理模块中的连续的3个处理模块输送基板。
基本信息
专利标题 ：
涂敷装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021794448.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN214077581U
授权日 ：
2021-08-31
发明人 ：
酒田洋司佐佐木庆介土山正志
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202021794448.2
主分类号 ：
B05C9/14
IPC分类号 ：
B05C9/14 B05C13/02 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C9/00
把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C1/00至B05C7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9/08
涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9/14
辅助操作包括加热
法律状态
2021-08-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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