一种用于弧形玻璃面板的镀膜装置
授权
摘要
本实用新型提出了一种用于弧形玻璃面板的镀膜装置，包括用于放置弧形玻璃面板的真空室和与真空室连通的真空泵系统，真空室内一侧设有镀膜夹具，另一侧设有多个磁控溅射镀膜组件，且多个磁控溅射镀膜组件呈弧形排列，多个磁控溅射镀膜组件的排列弧度与弧形玻璃面板的内弧面的弧度相吻合，镀膜夹具包括固定板，固定板开设有与弧形玻璃面板相匹配的固定槽，固定槽的槽口侧壁沿周向设有弹性层，弹性层包括首尾抵靠的四个连接板以及设置在每个连接板上的弹性垫片，每个连接板和对应的固定槽的槽壁之间均设有调节装置，调节装置用于调节连接板和对应的固定槽的槽壁之间距离。本实用新型可有效提高镀膜效果，避免镀膜材料镀到弧形玻璃的四周侧壁。
基本信息
专利标题 ：
一种用于弧形玻璃面板的镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021803592.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN212983042U
授权日 ：
2021-04-16
发明人 ：
秦正木陈圣沈立松焦云云
申请人 ：
安徽正威彩晶科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市巢湖经济开发区潜川路8号
代理机构 ：
合肥市长远专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄乐瑜
优先权 ：
CN202021803592.8
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/50 C03C17/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-04-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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