适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极

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摘要

本实用新型公开了一种适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，应用于具有曲面的镀膜工件，包括阴极座，阴极座具有与镀膜工件匹配的弧度截面，阴极座中央弧向设有磁钢槽；安装于磁钢槽内的永磁钢，永磁钢多段弧向排布于磁钢槽内；安装于阴极座且位于永磁钢上侧的铜隔板，铜隔板与永磁钢之间设有水冷通道；以及安装于铜隔板的靶材；其中，阴极座与永磁钢为弧形，且具有相同曲率。本实用新型通过弧形设置阴极，并利用铜隔板与永磁钢之间的水冷通道散热，避免以往在大曲率工件上采用平面阴极与旋转阴极进行磁控溅射镀膜的不适用性。

基本信息

专利标题：

适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020931836.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-28

授权号：

CN212426162U

授权日：

2021-01-29

发明人：

吴贲华顾文灏赵乐高国忠顾晗周凯

申请人：

江苏铁锚玻璃股份有限公司

申请人地址：

江苏省南通市海安市长江西路128号

代理机构：

北京国昊天诚知识产权代理有限公司

代理人：

林怡妏

优先权：

CN202020931836.4

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35