弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置，包括：定型框架，定型框架架设于真空泵内，具有弧度支撑弧形玻璃的不锈钢板，不锈钢板中央具有不锈钢板卡槽，且不锈钢板卡槽周围焊接止抵弧形玻璃的限位块；不锈钢挡板，不锈钢挡板固定于定型框架四周；加热罩，加热罩对应不锈钢挡板，且位于定型框架上侧；加热管，加热管安装于加热罩内，且对准下侧的弧形玻璃；磁控溅射镀膜阴极，磁控溅射镀膜阴极位于定型框架下侧，且由运动系统驱动旋转。本实用新型采用此装置解决了弧形玻璃在真空磁控溅射镀膜保温过程中玻璃表面受热不均匀，工装易变形，工装外形差异性大的问题，能在工作现场根据不同弧形玻璃进行模块化式生产。
基本信息
专利标题 ：
弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122654670.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-01
授权号 ：
CN216614825U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
吴倩颖丁洋高国忠赵乐吴伟张浩赵鹏陈波
申请人 ：
江苏铁锚玻璃股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市海安市长江西路128号
代理机构 ：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
李潇
优先权 ：
CN202122654670.3
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C03C17/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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