进样装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种进样装置，将第二进样部件与第二存储腔室密合，利用第一驱动器及第二进样部件移动，第二进样部件通过移动可从第一存储腔室中将样品自动转移至第二存储腔室中，避免了人工操作导致空气入侵第二存储腔室的风险，提高了第二存储腔室的气密性，降低了第二存储腔室漏气时破坏与之相连的设备中的昂贵零件的风险，进而提高了检测设备精度及寿命。
基本信息
专利标题 ：
进样装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021935217.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-03
授权号 ：
CN213091551U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
刘波张雷
申请人 ：
合肥晶合集成电路股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN202021935217.9
主分类号 ：
G01N27/62
IPC分类号 ：
G01N27/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离，例如气溶胶；通过测试放电，例如阴极发射
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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