本发明提供一种晶圆检测工具，其特征在于，包括：托盘，具有容纳槽，所述容纳槽的底部开设有通孔，所述容纳槽的深度大于待检测晶圆的厚度，且所述通孔的尺寸小于所述待检测晶圆；固定件，朝向所述容纳槽设置，所述固定件用于使所述待检测晶圆的一侧表面与所述容纳槽的底部相抵接以通过所述待检测晶圆封闭所述通孔。这样，本发明实施例中的晶圆检测工具通过设置具有容纳槽的托盘，待检测晶圆能够收容于该容纳槽内，降低了反应液流失以及操作人员与反应液接触的可能性，通过晶圆封闭容纳槽内的通孔，反应液不会与晶圆朝向通孔的一侧接触，从而能够确保反应液仅与晶圆的单面接触，能够提高晶圆检测的便利程度。