工件检测装置、成膜装置及工件检测方法
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摘要
本发明提供一种可通过共同的检测部件，不受工件的表面性状影响而检测存在翘曲等的工件的位置的异常的工件检测装置、成膜装置及工件检测方法。所述工件检测装置具有：第1设定部(42)，设定规定的大小的第1区域(S1)；第2设定部(43)，设定比第1区域(S1)大，并将第1区域(S1)全部纳入的第2区域(S2)；检测部(44)，检测来自收容在固定器(H)且已被拍摄的晶圆(W)的反射光的图像(Sw)对应于和第1区域(S1)与第2区域(S2)之间的区域所重叠的区域的面积的值；以及判定部(45)，根据由检测部(44)所检测到的值是否超过阈值，判定相对于固定器(H)的晶圆(W)的位置有无异常。
基本信息
专利标题 ：
工件检测装置、成膜装置及工件检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110016651A
申请号 ：
CN201811508725.6
公开（公告）日 ：
2019-07-16
申请日 ：
2018-12-11
授权号 ：
CN110016651B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
小田喜文
申请人 ：
芝浦机械电子装置株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县横浜市荣区笠间二丁目5番1号(邮编:247-8610)
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨贝贝
优先权 ：
CN201811508725.6
主分类号 ：
C23C14/54
IPC分类号 ：
C23C14/54 C23C14/56 C23C14/34 H01L21/66 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2019-08-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/54
申请日 : 20181211
申请日 : 20181211
2019-07-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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