一种可自动校正偏差的智能化石英舟上下料机
授权
摘要
本实用新型具体涉及一种可自动校正偏差的智能化石英舟上下料机，包括铝合金安装台，所述铝合金安装台的上端安装一侧设有铝合金安装架，所述铝合金安装架上安装设有吸盘模组左右移动机构，所述石英舟传送机构的一侧位于铝合金安装台的表面安装有产品校正机构，所述产品校正机构的中部位于铝合金安装台表面安装有硅片二次校正机构，本实用新型使用时通过石英舟传送机构与产品校正机构的两侧均设置石英舟上料轨道，当其中一个石英舟轨道进入扩散设备进行处理，另一个轨道可以同时进行装片，交替进行，从而包括花篮上料轨道一直处于运行状态，从而提高生产效率，且该装置节省成本，占地空间也较小，且自动化程度高。
基本信息
专利标题 ：
一种可自动校正偏差的智能化石英舟上下料机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021982706.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN213546281U
授权日 ：
2021-06-25
发明人 ：
刘鹤川林双全蔡萍李岩
申请人 ：
无锡市索克赛斯科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区梅村街道锡群路17号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021982706.X
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-06-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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