照明模块以及缺陷检测装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种照明模块及缺陷检测装置，所述照明模块用于基底的缺陷检测，所述照明模块包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；其中，所述光源发出的探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，之后在一待检测基底的表面形成预定尺寸的线型光斑。如此设置，通过将线型光导组件与反射式匀光组件相结合，所述线型光导组件将光源输出的圆形光斑直接转化为线型，在获得线型光斑的过程中未造成大的能量浪费，使得在线阵扫描检测时能量利用率明显提升，进而提高检测速度，提高检测产率。
基本信息
专利标题 ：
照明模块以及缺陷检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022018847.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-15
授权号 ：
CN212483390U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
王婷婷刁雷于大维李运锋
申请人 ：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN202022018847.6
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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