一种扫描荧光检测装置
授权
摘要
本实用新型提供一种扫描荧光检测装置，沿光束传播方向依次包括：激发光源模块，用于产生包含至少一种波长的光束，并发出一种波长的激发光束至第一光路整形模块；第一光路整形模块，用于接收所述激发光束并形成第一光斑；所述第一光斑用于照射到晶片上使晶片表面的有机物产生荧光；光收集模块，用于收集来自所述晶片表面的有机物产生的荧光；图像采集模块，用于接收所述光收集模块输出的荧光并进行成像。本实用新型提供的扫描荧光检测装置中，通过设置激发光源模块产生激发光束，该激发光束的波长可以根据晶片表面的有机物进行调整，使该波长的激发光束引起晶片上有机物光致发光效率最高，从而实现最大程度的提高待检测晶片上胶材范围。
基本信息
专利标题 ：
一种扫描荧光检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022036432.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-16
授权号 ：
CN212432985U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
刘亚李运锋于大维王婷婷
申请人 ：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN202022036432.1
主分类号 ：
G01N21/64
IPC分类号 ：
G01N21/64
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/62
所测试的材料在其中被激发，因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统
G01N21/63
光学激发的
G01N21/64
荧光；磷光
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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