一种薄膜厚度均匀性检测系统
授权
摘要
本实用新型揭示了一种薄膜厚度均匀性检测系统，包括安装在机架上的光信号发射装置和光信号接收装置，所述光信号发射装置包括多个光源探头，所述光信号接收装置包括多个接收探头，每一光源探头与相应的一接收探头沿被测试薄膜厚度方向相对设置，使由每一光源探头发射的光线在沿厚度方向垂直穿过所述薄膜后能够被相应的一接收探头接收，并且至少所述光信号接收装置还与计算机控制系统连接。本实用新型提供的薄膜厚度均匀性检测系统，通过对涂层多个位置进行特定波长下的透过率测试，可用于对涂层厚度均匀性的原位检测，透过率的测试数据通过控制系统输出反馈，来调整涂膜系统的进料量以及传动速度，从而达到涂层厚度均匀性在线可调控的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种薄膜厚度均匀性检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022066969.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
CN213022870U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
熊娟龙梦龙董明建张东煜王天赋钱波王斌宋晓晓周海霞
申请人 ：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
代理机构 ：
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王锋
优先权 ：
CN202022066969.2
主分类号 ：
G01N21/59
IPC分类号 ：
G01N21/59
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/59
透射率
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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