一种使用硅制转接头的喷射管
授权
摘要
本实用新型公开了一种使用硅制转接头的喷射管，旨在解决现在的喷射换气密性较差、使用寿命较短的不足。该实用新型包括喷射管本体、转接头，喷射管本体两端分别设输出管口和进气孔，转接头为管体，管体的两端分别为连接插座和输入管口，喷射管本体靠近进气口的一端插装在连接插座中。解决了石英喷射管高温下软化变形,更换频繁的问题，提供了一种稳定可靠的硅部件连接方式，排除了连接部位带入外部污染物的可能性。
基本信息
专利标题 ：
一种使用硅制转接头的喷射管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022126182.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-24
授权号 ：
CN213507288U
授权日 ：
2021-06-22
发明人 ：
祝建敏范明明李长苏
申请人 ：
杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市滨江区滨康路668号C幢
代理机构 ：
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 ：
郑汝珍
优先权 ：
CN202022126182.0
主分类号 ：
C30B25/14
IPC分类号 ：
C30B25/14 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/14
气体供给或排出用的装置；反应气流的变换
法律状态
2021-06-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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