一种用于全自动混酸系统的间歇式密闭混合槽
授权
摘要

本实用新型公开了一种用于全自动混酸系统的间歇式密闭混合槽,涉及半导体加工技术领域。本实用新型包括密闭混合槽主体、隔膜泵和三通阀,密闭混合槽主体的一侧设置有隔膜泵,隔膜泵的另一侧设置有过滤机构。本实用新型通过设置密封罩和耐腐蚀内衬层,密封罩通过固定件盖在混合槽体上部,将槽体密封,这样在混酸时,避免高挥性物质在混配中挥发,从而可避免混酸后配比质量分量误差大,耐腐蚀内衬层固定在槽体的内底面和内侧面上,可起到对槽体的腐蚀保护作用,提高槽体的使用寿命和使用的安全性,解决了现有的技术混酸时高挥性物质易挥发,容易导致配比质量分量误差大,并且现有的混合槽耐腐蚀性差,使用寿命短的问题。

基本信息
专利标题 :
一种用于全自动混酸系统的间歇式密闭混合槽
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022214643.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-30
授权号 :
CN213725842U
授权日 :
2021-07-20
发明人 :
苏富琨余光明戴荣昌
申请人 :
福建雅鑫电子材料有限公司
申请人地址 :
福建省三明市清流经济开发区氟新材料产业园
代理机构 :
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
许娆
优先权 :
CN202022214643.X
主分类号 :
B01F5/10
IPC分类号 :
B01F5/10  B01F7/04  B01F15/02  B01F15/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合,例如,溶解、乳化、分散
B01F5/00
流态混合机;适于下落材料的混合机,例如,适合于固体颗粒的
B01F5/10
循环混合机
法律状态
2021-07-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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