硅片上下料机
授权
摘要
本实用新型涉及硅片装篮设备领域，尤其是硅片上下料机。该上下料机包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构，所述机架上安装有花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构，花篮升降机构的滑座上安装有用于定位硅片花篮的花篮压紧机构、花篮水平传输机构。本实用新型通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。
基本信息
专利标题 ：
硅片上下料机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022225009.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-09
授权号 ：
CN213201489U
授权日 ：
2021-05-14
发明人 ：
闫善韵
申请人 ：
苏州林赛自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇钟塔路8号6幢1楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022225009.6
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2021-05-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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