吸取装置
授权
摘要

本实用新型涉及的是半导体晶圆芯片制造的技术领域,具体是一种吸取装置,上述吸取装置包括:抽气组件,所述抽气组件设置有第一腔体;多个连接杆,每个所述连接杆设置有第二腔体,每个所述连接杆通过所述第二腔体连通于所述第一腔体;多个吸盘,每个所述吸盘部分套设于所述连接杆。当吸取装置吸取晶圆片时,吸盘抵接于晶圆片无效区域,通过抽气组件抽离第一腔体和第二腔体的空气,形成真空环境,使吸盘和晶圆片之间产生负压,使吸盘稳固吸住晶圆片,移动吸取装置即可移动晶圆片。采用多个小吸盘吸取晶圆片,避开晶圆片有效区域,避免对晶圆片造成污染,提高良品率,同时提高了对晶圆片的吸附力,提高可靠性。

基本信息
专利标题 :
吸取装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123388632.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
CN216505207U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
段会强
申请人 :
武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
代理机构 :
北京众达德权知识产权代理有限公司
代理人 :
安磊
优先权 :
CN202123388632.4
主分类号 :
B25J15/06
IPC分类号 :
B25J15/06  B65G47/91  B65G49/07  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25J
机械手;装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
B25J15/06
带真空或磁力夹持装置
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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