硅片下片机
授权
摘要
本实用新型涉及硅片下片设备领域，尤其是硅片下片机。该下片机包括机架、初段水平直线输送机、中间段水平直线输送机、水平直线输送机、末段上层水平直线输送机、末段下层水平直线输送机、硅片翻面机构、升降机构、花篮定位机构，所述机架上安装有初段水平直线输送机、中间段水平直线输送机、末段上层水平直线输送机、末段下层水平直线输送机。本实用新型通过初段水平直线输送机及中间段水平直线输送机，将硅片往前传送。通过升降机构来驱使花篮的上下移动，从而选择将填装了硅片的花篮送入末段上层水平直线输送机或是末段下层水平直线输送机上进行传送。本申请提高了硅片入篮传送的效率。
基本信息
专利标题 ：
硅片下片机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022229930.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-09
授权号 ：
CN213170346U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
闫善韵
申请人 ：
苏州林赛自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇钟塔路8号6幢1楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022229930.8
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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