清洗式硅片下片机

授权

摘要

本实用新型涉及下片机领域，尤其是清洗式硅片下片机。该下片机包括龙门架、二轴机械手、抓花篮机构、清洗槽、花篮水平输送台、吹除机构、下片台，所述龙门架的横梁上安装有二轴机械手和吹除机构，二轴机械手上安装有抓花篮机构，龙门架下方设有清洗槽、花篮水平输送台、下片台。本实用新型通过二轴机械手配合抓花篮机构来移动硅片花篮。通过清洗槽来清洗硅片。通过吹除机构将硅片上的液体吹落。通过花篮水平输送台将硅片花篮移动到下片台上进行取出下片。

基本信息

专利标题：

清洗式硅片下片机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022323808.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-19

授权号：

CN213445116U

授权日：

2021-06-15

发明人：

闫善韵

申请人：

苏州林赛自动化科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市吴中区木渎镇钟塔路8号6幢1楼

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202022323808.7

主分类号：

B65G49/07

IPC分类号：

B65G49/07