上下片机构

专利权的终止

摘要

一种自动上下片机构，包括送片机构、预对位机构和机械臂组件机构，机械臂组件机构中的机械臂从送片机构上方的花篮中取出晶圆片送到预对位机构进行预对位，然后机械臂组件机构旋转90°把晶圆片送到测试装置的承片台上进行相关测试；待测试完成后，机械臂再把晶圆片从测试装置的承片台上卸下来，送回花篮，同时送上另外一片已经预对位好的晶圆片，如此反复直至完成整个测试。由于本实用新型采用了两个机械臂，使得整个上下片过程变得快速、流畅，从而节省了换片时间，提高了整机的测试效率。

基本信息

专利标题：

上下片机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720304905.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-11-30

授权号：

CN201115957Y

授权日：

2008-09-17

发明人：

唐小飞胡泓

申请人：

深圳市矽电半导体设备有限公司

申请人地址：

518172广东省深圳市龙岗区龙城清林西路深圳市留学人员创业园一园412室

代理机构：

北京英特普罗知识产权代理有限公司

代理人：

李敏

优先权：

CN200720304905.3

主分类号：

B25J3/00

IPC分类号：

B25J3/00 B25J19/00 B65G49/07

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B25

手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手

B25J

机械手；装有操纵装置的容器

B25J3/00

主从型机械手，即兼有控制单元和被控制单元共同完成相应的空间运动

法律状态

2017-12-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : B25J 3/00
申请日 : 20071130
授权公告日 : 20080917

2013-04-03 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101560194749
IPC(主分类) : B25J 3/00
专利号 : ZL2007203049053
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳市矽电半导体设备有限公司
变更后 : 深圳市矽电半导体设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518172 广东省深圳市龙岗区龙城清林西路深圳市留学人员创业园一园412室
变更后 : 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道中心城龙城工业园路3号特发龙飞E栋创业大厦二楼

2009-08-05 ：

著录事项变更

变更事项 : 发明人
变更前 : 唐小飞;胡泓
变更后 : 王胜利;胡泓

2008-09-17 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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