超高真空化学气相淀积外延系统的张合式取放片机械手
专利权的终止
摘要
本发明属于集成电路半导体薄膜外延生长技术及超晶格薄膜材料生长技术领域;其特征在于含有:磁传动轴、止推弹簧、止推挡板、档头、双定位转芯、两个内套筒、外套筒、换向轴、换向弹簧以及基于四连杆机构的张合式机械手夹臂;磁传动轴前进过程中,固定在外套筒一端的档头被外延生长反应腔真空阀门第一次挡住后,磁传动轴继续向前位移,使机械手夹臂张开实现放片功能;而在磁传动轴前进过程中,档头被阀门第二次挡住时,磁传动轴继续向前位移,却使机械手夹臂闭合实现取片功能,并依次循环往复。本发明具有硅片的存取准确可靠,重复稳定性好的优点,大大提高了单片三腔红外加热超高真空化学气相淀积外延系统的生产效率。
基本信息
专利标题 :
超高真空化学气相淀积外延系统的张合式取放片机械手
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1739923A
申请号 :
CN200510086475.8
公开(公告)日 :
2006-03-01
申请日 :
2005-09-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
钱佩信梁聚宝林惠旺刘荣华刘志弘陈长春张伟
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
100084北京市100084-82信箱
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200510086475.8
主分类号 :
B25J3/00
IPC分类号 :
B25J3/00 C23C16/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25J
机械手;装有操纵装置的容器
B25J3/00
主从型机械手,即兼有控制单元和被控制单元共同完成相应的空间运动
法律状态
2015-11-11 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101633282438
IPC(主分类) : B25J 3/00
专利号 : ZL2005100864758
申请日 : 20050923
授权公告日 : 20071107
终止日期 : 20140923
号牌文件序号 : 101633282438
IPC(主分类) : B25J 3/00
专利号 : ZL2005100864758
申请日 : 20050923
授权公告日 : 20071107
终止日期 : 20140923
2007-11-07 :
授权
2006-04-26 :
实质审查的生效
2006-03-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN100346938C.PDF
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2、
CN1739923A.PDF
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