一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构

授权

摘要

本实用新型公开了一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构，包括：底座；伸缩机构本体，所述伸缩机构本体固定连接在底座上，伸缩机构本体上设有螺纹孔；丝杆，所述丝杆与螺纹孔相匹配，丝杆螺纹连接在螺纹孔上，丝杆右端与探针夹持座连接；正多边形杆，所述正多边形杆固定连接在丝杆右端；步进电机，所述步进电机固定连接底座上，步进电机位于伸缩机构本体右侧，步进电机的转轴上开有于正多边形杆相匹配的正多边形孔，正多边形杆插入正多边形孔中，步进电机与控制器电连接。以解决现有技术不能同时满足高精度和低速下运行的要求，达不到探针针尖制作时条件的问题。

基本信息

专利标题：

一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022235820.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-27

授权号：

CN213476146U

授权日：

2021-06-18

发明人：

王一郭祥王继红李军丽杨晨罗子江丁召

申请人：

贵州大学

申请人地址：

贵州省贵阳市花溪区贵州大学花溪北校区科技处

代理机构：

贵阳中新专利商标事务所

代理人：

张彪

优先权：

CN202022235820.2

主分类号：

C25F7/00

IPC分类号：

C25F7/00 C25F3/02