一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构,包括:底座;伸缩机构本体,所述伸缩机构本体固定连接在底座上,伸缩机构本体上设有螺纹孔;丝杆,所述丝杆与螺纹孔相匹配,丝杆螺纹连接在螺纹孔上,丝杆右端与探针夹持座连接;正多边形杆,所述正多边形杆固定连接在丝杆右端;步进电机,所述步进电机固定连接底座上,步进电机位于伸缩机构本体右侧,步进电机的转轴上开有于正多边形杆相匹配的正多边形孔,正多边形杆插入正多边形孔中,步进电机与控制器电连接。以解决现有技术不能同时满足高精度和低速下运行的要求,达不到探针针尖制作时条件的问题。
基本信息
专利标题 :
一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022235820.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-27
授权号 :
CN213476146U
授权日 :
2021-06-18
发明人 :
王一郭祥王继红李军丽杨晨罗子江丁召
申请人 :
贵州大学
申请人地址 :
贵州省贵阳市花溪区贵州大学花溪北校区科技处
代理机构 :
贵阳中新专利商标事务所
代理人 :
张彪
优先权 :
CN202022235820.2
主分类号 :
C25F7/00
IPC分类号 :
C25F7/00 C25F3/02
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25F
电解法除去物体上材料的方法;其所用的设备
C25F7/00
从物体上电解除去材料用电解槽的构件,或其组合件;维护或操作
法律状态
2021-06-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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