探针卡针尖压力检测设备

授权

摘要

本实用新型公开了探针卡针尖压力检测设备，包括底座，底座上设置有供待测探针卡放置的检测区。底座上还设置有观察机构和检测机构，检测机构包括固定在底座上的三维微调平台，三维微调平台上设置有检测其Z向输出轴升降高度的高度传感器，三维微调平台的Z向输出轴固结有压力传感器，压力传感器的测试头上设置有测试顶针，测试顶针位于检测区正上方；观察机构包括固定在底座上的龙门固定架，龙门固定架上设置有能十字移动的运动座，运动座上固结有体式显微镜，体式显微镜位于检测区正上方。结构简单，操作便捷，可快速检测针尖的压力和变形量。

基本信息

专利标题：

探针卡针尖压力检测设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021450561.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-21

授权号：

CN213023528U

授权日：

2021-04-20

发明人：

杨夫明

申请人：

苏州矽利康测试系统有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区东富路38号3幢三层

代理机构：

无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

许云峰

优先权：

CN202021450561.9

主分类号：

G01R35/00

IPC分类号：

G01R35/00 G01L5/00