本实用新型公开了一种模块化真空处理设备，包括外壳体，所述外壳体的一侧固定连接有安装环，所述安装环的内部固定安装有风扇，所述安装环的一侧固定安装有预冷密封组件，所述外壳体的另一侧固定安装有通风密封组件，所述通风密封组件包括固定架，本实用新型涉及真空泵技术领域。该模块化真空处理设备通过在控制器外壳体一侧设置风扇可以向外壳体内部导入气流，进行风冷散热，同时设置冷却管可以对进入的气流进行预冷，提高散热效率，且在冷却管上设置密封胶片以及社会自通风密封组件，可以在控制器不工作时对进风口和固定架进行密封，即可以在控制器工作时提高散热效率的，同时在控制器不工作时保证密封性。