一种光谱共焦谱域干涉测量装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种光谱共焦谱域干涉测量装置,包括控制器、色散物镜,色散物镜通过光纤连接至控制器,控制器内依次设置有准直物镜、色散元件、聚焦物镜,经聚焦物镜聚焦后的光束进入光电转换器,其中位于准直物镜前端的光纤出光端、准直物镜和聚焦物镜的光轴中心,色散元件的几何轴中心、光电转换器的中心线在同一水平面上。本实用新型中的高分辨率的光谱解码系统,可以同时获得光谱共焦信号与谱域干涉信号,可测量的透光物质的最小厚度大大减小,提高了测量精度和应用范围;色散物镜及光栏结构,使得反射光的能量分布的全高半宽明显变窄,色散物镜的聚焦光点明显变小,提高了横向分辨率,色散物镜的球差减小提高了系统测试的稳定性。

基本信息
专利标题 :
一种光谱共焦谱域干涉测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022334875.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-20
授权号 :
CN214173256U
授权日 :
2021-09-10
发明人 :
庆祖林
申请人 :
南京引创光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市浦口区江浦街道新浦路120号
代理机构 :
南京知识律师事务所
代理人 :
李湘群
优先权 :
CN202022334875.9
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02  G01B11/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2021-09-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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