一种刻蚀机的供气系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种刻蚀机的供气系统，包括方体，所述方体内部开设有凹槽，所述方体外壁一侧开设有稳定槽，所述稳定槽与凹槽连通，所述稳定槽内部固定连接有过滤网，所述过滤网外壁一侧设有毛刷，所述毛刷外壁远离过滤网一侧固定连接有滑套，所述滑套外壁转动连接有第一支撑板。本实用新型通过在滑杆外壁设置滑板，滑板的加入，使滑杆可以带动滑套运动，第一支撑板的加入，使滑套的稳定性增加，连接块和连接槽的加入，使滑套自转时，可以滑动运动，从动轴的加入，使主动轴可以带动稳定杆运动，第三支撑板的加入，使转杆可以圆周运动，活动杆和活动套的加入，使滑块可以带动连接块运动。
基本信息
专利标题 ：
一种刻蚀机的供气系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022512327.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
CN214075492U
授权日 ：
2021-08-31
发明人 ：
吴峰唐建成
申请人 ：
无锡芯汉电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市湖滨路655号325室
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
聂启新
优先权 ：
CN202022512327.0
主分类号 ：
B01D46/00
IPC分类号 ：
B01D46/00 B01D46/10 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
法律状态
2021-08-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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