用于感测应用的自混合干涉设备
公开
摘要
本文公开了自混合干涉测量(SMI)传感器，诸如可包括垂直腔面发射激光(VCSEL)二极管和谐振腔光电探测器(RCPD)。公开了VCSEL二极管和RCPD的结构。在一些实施方案中，VCSEL二极管和RCPD横向相邻并由在公共基板上外延形成的一组公共半导体层形成。在一些实施方案中，第一VCSEL二极管和第二VCSEL二极管横向相邻并由在公共基板上外延形成的一组公共半导体层形成，并且RCPD形成在所述第二VCSEL二极管上。在一些实施方案中，VCSEL二极管可包括其间具有隧道结层的两个量子阱层。在一些实施方案中，RCPD可与VCSEL二极管垂直地集成。
基本信息
专利标题 ：
用于感测应用的自混合干涉设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114303038A
申请号 ：
CN202080047558.9
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·A·德拉德C·H·林谈飞A·拉甫拉奎尔K·里昂W·李
申请人 ：
苹果公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京市汉坤律师事务所
代理人 ：
魏小薇
优先权 ：
CN202080047558.9
主分类号 ：
G01B9/02097
IPC分类号 ：
G01B9/02097 G01S7/4912 G01S17/08 G01S17/50 H01S5/183
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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