显微镜图像测定装置及显微镜图像测定方法
公开
摘要
本发明在显微镜图像测定中，在进行具有超过焦点深度的阶梯差的测定对象物的测定、沿显微镜的光轴方向而不同的位置的图案比较等时，能够进行高精度的测定。显微镜图像测定装置具备：显微镜，对测定对象物的表面照射白色落射光来获得表面的放大像；分光摄像机，获得放大像的分光图像；及图像处理部，按每个波长提取分光图像来进行图像测定处理，显微镜将按每个波长而不同的焦点位置的像成像于分光摄像机的摄像面，图像处理部提取测定部位的对比度最高的波长的分光图像来进行边缘检测。
基本信息
专利标题 ：
显微镜图像测定装置及显微镜图像测定方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270134A
申请号 ：
CN202080058120.0
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-06-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
水村通伸
申请人 ：
株式会社V技术
申请人地址 ：
日本神奈川县横滨市
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
吕琳
优先权 ：
CN202080058120.0
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01B11/24 G02B21/36 G06T7/13 G06T7/70
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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