用于高质量离子束形成的系统、设备和方法
公开
摘要
与光束系统有关的系统、设备和方法的实施例。一种示例光束系统,包括:带电粒子源,其被配置为产生带电粒子束;预加速器系统,其被配置为加速光束;以及加速器,其被配置为加速来自预加速器系统的光束。预加速器系统可以使得光束在它从源传播到加速器的输入孔径时会聚。预加速器系统可以进一步减少或消除由从加速器朝向源行进的回流引起的源干扰或损坏。
基本信息
专利标题 :
用于高质量离子束形成的系统、设备和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114600561A
申请号 :
CN202080061048.7
公开(公告)日 :
2022-06-07
申请日 :
2020-08-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
A·杜纳耶夫斯基A·N·斯米尔诺夫A·A·伊万诺夫V·维克塞尔曼
申请人 :
TAE技术公司
申请人地址 :
美国加利福尼亚州
代理机构 :
北京市中咨律师事务所
代理人 :
于静
优先权 :
CN202080061048.7
主分类号 :
H05H9/00
IPC分类号 :
H05H9/00 G21K5/04
法律状态
2022-06-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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