切割装置及方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种能够防止切割加工时的刀具与夹具的干涉、并且能够确保生产率的切割装置及方法。切割方法包括：测定工件(W)的形状的形状测定步骤；对准步骤，在该对准步骤中，取得工件的形状的测定结果，并基于所取得的测定结果，以沿着工件的分割预定线(CL1)且与用于进行工件的切割加工的刀具(32)的刃厚对应的宽度的线(CT1)收纳于夹具(J1)的夹具槽(G1)的方式来进行工件与夹具的对准；以及利用夹具吸附保持工件并沿着分割预定线对工件进行切割加工的步骤。
基本信息
专利标题 ：
切割装置及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114340846A
申请号 ：
CN202080061320.1
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
武田邦义对马健夫深谷浩则新井裕介清水翼
申请人 ：
株式会社东京精密
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
海坤
优先权 ：
CN202080061320.1
主分类号 ：
B24B49/12
IPC分类号 ：
B24B49/12 B24B47/22 B24B27/06 H01L21/78
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B49/00
用于控制磨具或工件进给运动的测量或校准装置；指示或测量装置的布置，如用于指示磨削加工开始的
B24B49/12
使用光学装置
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 49/12
申请日 : 20200907
申请日 : 20200907
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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