带有可调节粒子射束的冷气喷射设备
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种用于产生可调粒子射束(50)的冷气喷射设备(100)和一种用于控制这种冷气喷射设备(100)的方法。为了在持续运行期间针对性地控制冷气喷射设备(100)的粒子射束(50)，特别是为了在短期内使其关闭而建议，冷气喷射设备(100)具有使粒子射束(50)流出的喷嘴(110)，用于将粒子流(40)输入喷嘴(110)的进料装置(130)和一个或多个执行器(21，22，23)，所述执行器设计为使得粒子流(40)和/或粒子射束(50)在持续运行期间可以暂时减少，特别是暂时中断。
基本信息
专利标题 ：
带有可调节粒子射束的冷气喷射设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114375350A
申请号 ：
CN202080062693.0
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2020-08-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
A.阿恩特A.克鲁兹J.D.詹森U.克鲁格U.皮里茨O.斯蒂尔
申请人 ：
西门子股份公司
申请人地址 ：
德国慕尼黑
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
张建锋
优先权 ：
CN202080062693.0
主分类号 ：
C23C24/04
IPC分类号 ：
C23C24/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C24/00
自无机粉末起始的镀覆（熔融态覆层材料的喷镀入C23C4/00；固渗入C23C8/00-C23C12/00
C23C24/02
仅使用压力的
C23C24/04
颗粒的冲击或动力沉积
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 24/04
申请日 : 20200813
申请日 : 20200813
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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