本发明提供了一种β粒子束流测量装置，其包括阳极板，阳极板的一个板面上层叠设置的金属隔环、次级电离板和第一绝缘膜形成次级电离室，另一板面上层叠设置的主电离板、第二绝缘膜和主电离板压环形成主电离室；主电离板压环上通过塑料隔环设置有均整过滤装置，均整过滤装置包括叠加设置在塑料隔环上的均整块压环、第三绝缘膜和中部为均整块的第四绝缘膜；主电离室、次级电离室和均整过滤装置固定在顶盖和底板之间，顶盖设置有插接到次级电离、阳极板和主电离板的若干个接线柱；次级电离板、主电离板、阳极板、第一绝缘膜、第二绝缘膜、第三绝缘膜和第四绝缘膜的材质均为聚氨酯材质。