极值寻觅控制装置及用于射频阻抗匹配的自动频率调谐的方法
实质审查的生效
摘要
本发明揭示一种射频(RF)产生器，其包含经组态以依一输出频率产生一输出信号之一RF电源。该RF产生器包含一频率调谐模块。该频率调谐模块产生控制该RF电源之该输出频率之一频率控制信号。该频率控制信号包含一频率调谐信号分量及一扰动信号分量。该扰动信号变动该输出信号之一电参数。响应于该扰动信号，根据输出信号之一变化来调整该频率调谐信号。
基本信息
专利标题 ：
极值寻觅控制装置及用于射频阻抗匹配的自动频率调谐的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114430887A
申请号 ：
CN202080066091.2
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2020-04-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
亚伦·贝里亚伦·瑞多姆斯基昂·托埃杰西·克莱因
申请人 ：
MKS仪器有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京德琦知识产权代理有限公司
代理人 ：
于会玲
优先权 ：
CN202080066091.2
主分类号 ：
H03H11/28
IPC分类号 ：
H03H11/28 H03H7/40 H03K5/00 H01J37/32
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 11/28
申请日 : 20200427
申请日 : 20200427
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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