射频阻抗匹配的方法及装置、半导体处理设备
授权
摘要
本发明公开了一种射频阻抗匹配的方法、装置和半导体处理设备。方法包括：步骤S110、向匹配器发送控制信号；步骤S120、判断所述控制信号是否为步骤切换信号，并当判定为步骤切换信号时，执行步骤S130，反之，执行步骤S140；步骤S130、控制匹配器执行保持模式，所述保持模式的维持时间为预设时间t，之后执行步骤S140；步骤S140、控制匹配器开始阻抗匹配，以使得射频电源的输出阻抗与负载阻抗匹配。可以有效避免在步骤切换工艺中由于阻抗不稳定而导致的匹配器的误调整，增加保持模式，有效提高匹配的匹配速度和效率，并且，针对不同的工艺，保持模式所维持的预设时间t可以不同，能够大大拓展工艺的应用。
基本信息
专利标题 ：
射频阻抗匹配的方法及装置、半导体处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110534392A
申请号 ：
CN201810515606.7
公开（公告）日 ：
2019-12-03
申请日 ：
2018-05-25
授权号 ：
CN110534392B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
韦刚苏恒毅刘珂
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN201810515606.7
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2019-12-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20180525
申请日 : 20180525
2019-12-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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