流量调整阀、泵单元以及表面处理装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及流量调整阀、泵单元以及表面处理装置。为了以较高精度对流体的流量进行调整，流量调整阀(150)具备：流路部(151)，在一端形成有开口部(152)，供流体流动；升降阀(153)，能够对开口部(152)的整个区域进行覆盖而将开口部(152)关闭，且能够通过从开口部(152)向开口部(152)的开口方向分离而将开口部(152)打开，并且能够通过使开口方向上的与开口部(152)的距离(d)变化而使与开口部(152)相对的流通面积(DA)变化；以及伺服促动器(160)，作为基于规定的检测值使升降阀(153)向开口方向移动的驱动机构。
基本信息
专利标题 ：
流量调整阀、泵单元以及表面处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114450514A
申请号 ：
CN202080067355.6
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-09-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
栗原义明难波武志福山聪能势功一
申请人 ：
芝浦机械株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
任玉敏
优先权 ：
CN202080067355.6
主分类号 ：
F16K51/02
IPC分类号 ：
F16K51/02 F16K1/00 G05D7/06 H05H1/46 F04D19/04 C23C14/50 C23C14/54 C23C14/34
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K51/00
非专门用于特殊型式的阀或切断装置的其他部件
F16K51/02
专门适用于高真空设备
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 51/02
申请日 : 20200909
申请日 : 20200909
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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