固体摄像装置及固体摄像装置制造方法
公开
摘要
[问题]旨在提供能够抑制因沟槽引起的布局效率降低的固体摄像装置及其制造方法。[方案]一种固体摄像装置包括基板，该基板包括沿着纵向方向延伸的一个以上垂直沟槽和沿着横向方向延伸且连接至所述一个以上垂直沟槽的水平沟槽。所述水平沟槽设置在所述基板内的光电转换部和电荷保持部之间且包括遮光膜。所述一个以上垂直沟槽包括第一和第二沟槽，所述第一沟槽具有第一宽度且包括所述遮光膜，所述第二沟槽具有比所述第一宽度细的第二宽度且不包括所述遮光膜。或者所述一个以上垂直沟槽包括第三沟槽，所述第三沟槽包括第一和第二部分，所述第一部分具有第三宽度且包括所述遮光膜，所述第二部分具有比所述第三宽度细的第四宽度且不包括所述遮光膜。
基本信息
专利标题 ：
固体摄像装置及固体摄像装置制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114556575A
申请号 ：
CN202080073137.3
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-11-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
福井僚町田贵志秋山健太郎
申请人 ：
索尼半导体解决方案公司
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
陈桂香
优先权 ：
CN202080073137.3
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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