光源定位装置和半导体光学量测装置

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摘要

该发明公开了一种用于半导体光学量测的光源定位装置和半导体光学量测装置，所述光源定位装置包括：外壳，所述外壳内限定出适于半导体光学量测的光源器件至少部分伸入的安装腔，所述外壳包括定位件和用于与所述半导体光学量测设备固定连接的固定件；定位杆，所述定位杆可移动地穿设在所述定位件上且所述定位杆的一端伸入所述安装腔内，所述定位杆伸入所述安装腔的一端设有底座，所述底座设有与所述光源器件安装定位的定位部，所述外壳安装在所述光学量测设备时所述光源器件安装到位且所述光源器件的定位标志位于定位位置处。所述光源定位装置能够提高光源器件的安装的准确性，保证光源器件的聚光性和光学量测设备的量测的稳定性。

基本信息

专利标题：

光源定位装置和半导体光学量测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112945281A

申请号：

CN202110096345.1

公开（公告）日：

2021-06-11

申请日：

2021-01-25

授权号：

CN112945281B

授权日：

2022-06-03

发明人：

周毅梁亚军

申请人：

长江存储科技有限责任公司

申请人地址：

湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙佳胤

优先权：

CN202110096345.1

主分类号：

G01D5/26

IPC分类号：

G01D5/26 F16M11/04