一种超导电路制备方法及一种超导量子芯片
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摘要
本发明公开了一种超导电路制备方法，属于量子计算技术领域。所述制备方法包括：确定衬底上位于第一电元件和第二电元件之间的第一结区，及位于预先形成的第一导电板和第二导电板之间的第二结区；形成约瑟夫森结于第二结区，且约瑟夫森结的第一超导层和第二超导层与第一导电板和第二导电板一一对应电连接；将第一导电板和第二导电板接入检测电路以检测约瑟夫森结的电性参数，并判断电性参数是否符合目标参数范围；若是，切割分离约瑟夫森结与第一导电板和第二导电板，并将约瑟夫森结移至第一结区；形成连接第一超导层和第一电元件的第一连接结构，以及连接第二超导层和第二电元件的第二连接结构，本发明能够确保制备的超导电路符合设计要求。
基本信息
专利标题 ：
一种超导电路制备方法及一种超导量子芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113036030A
申请号 ：
CN202110215894.6
公开（公告）日 ：
2021-06-25
申请日 ：
2021-02-26
授权号 ：
CN113036030B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
马亮亮尤兵王念慈郑杰刘文书
申请人 ：
合肥本源量子计算科技有限责任公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼六层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202110215894.6
主分类号 ：
H01L39/24
IPC分类号 ：
H01L39/24 H01L39/02 H01L39/22
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2021-07-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 39/24
申请日 : 20210226
申请日 : 20210226
2021-06-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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